上海硅酸盐所人工晶体研究中心召开第三十七期学术讲坛
文章来源：上海硅酸盐研究所 | 发布时间：2019-10-09 | 【】 【】
9月23日上午，中国科学院上海硅酸盐研究所在嘉定园区g楼3楼报告厅举办了“独立建所60周年学术活动”之第三十七期人工晶体讲坛。邀请同济大学物理学院徐军教授和中国科学院上海微系统与信息技术研究所欧欣研究员作为主讲嘉宾，为上海硅酸盐所、同济大学、中国科学院上海光学精密机械研究所等单位的70余名科研人员与研究生分别作了题为“我国蓝宝石产业对晶体生长技术的推动及关于激光晶体发展态势的思考”和“先进硅基衬底材料及应用”的报告。报告会由中国科学院原副院长、上海张江综合性国家科学中心常务副主任、人工晶体研究中心学术委员会主任施尔畏研究员主持。施尔畏代表上海硅酸盐所向徐军教授和欧欣研究员表示热烈欢迎和诚挚感谢，并简要介绍了两位报告人在其领域方面取得的科学成果，希望与会人员能从两位科学家的报告中得到启示。
徐军教授在报告中介绍了蓝宝石产业化发展历史、现状、高/低端应用以及未来的应用前景。详细介绍了蓝宝石晶体生长的方法以及研究进展，重点介绍了其研究团队自主研发的导模法工艺以及取得的成果，如：300*600*12 大板条、内/外径分别为f31/58mm和f50/65mm且长度超过300mm的大尺寸厚壁单晶圆管、f60×350mm蓝宝石晶棒、f0.42-0.44mm蓝宝石光纤等。徐军教授还针对激光晶体发展态势阐述了自己的观点，提出了激光晶体今后的主要发展趋势，并提出实现激活离子局域配位结构调控是关键基础科学问题之一，提出了建立激光晶体数据库的必要性和迫切性。
欧欣研究员介绍了半导体集成电路与全球经济的相关性，高端硅基衬底材料的发展方向以及我国半导体产业发展现状。介绍了其研究团队在soi（silicon-on-insulator）技术方面取得的成果，如soi技术路线、开发国际最低注氧剂量soi材料制备技术及其应用。针对后摩尔时代、5g时代非硅材料的需求，其团队发展了异质集合xoi技术，利用“万能离子刀”硅基异质集成精准剥离技术，将ⅲ-ⅴ族半导体、宽禁带半导体、硅基铌酸锂/钽酸锂等功能材料与硅基（si/sio2/sic）衬底集成，解决xoi材料集成中多物理失配问题，建立xoi材料制备技术体系和中试平台，为后摩尔时代核心光子、电子及量子器件提供关键材料支撑。
报告会中，与会人员与报告人就感兴趣的问题展开了热烈的交流与讨论。
施尔畏研究员主持报告会
同济大学徐军教授作报告
中国科学院上海微系统与信息技术研究所欧欣研究员作报告
报告会现场
